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超纯水清洗步骤占据芯片生产总步骤的三分之一
2022-06-22 浏览量:148
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  芯片已经成为我们不可或缺的物件,在日常生活中有着非常广泛的应用,越来越多的高科技产品都在使用芯片,那么芯片到底是什么东西?芯片又被称为微电路、微芯片、集成电路,它其实是半导体元件产品的统称。

  “点石成芯”会主要经历硅片制造、晶圆制造、芯片封装和芯片测试几大流程。提起芯片制造,大家想到的一定是光刻机,作为芯片制造的核心设备,光刻机缺口成为了无数国人的痛。

  然而,光刻机虽然关键,但却仅参与到芯片光刻这一个环节之中。与光刻相对比,清洗步骤贯穿于芯片生产的各个环节,清洗的效果直接影响到芯片良品率。

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  清洗步骤占据了整个芯片生产总步骤的三分之一。清洗过程离不开清洗用的超纯水。为什么一定要用超纯水呢?随着芯片的精密度越来越高,生产环节对于水质的要求也越来越高,为了保证生产出超大规模的集成电路除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,超纯水成为了重要因素之一。

  超纯水是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

  那么,如此高质量的超纯水该如何生产呢?

  传统的超纯水生产工艺是使用阴阳树脂交换设备。该方法的缺点是树脂在使用一段时间后往往需要再生。

  经过多年的实践,莱特莱德超纯水系统是将反渗透水处理设备、电去离子(EDI)设备和抛光混床相结合制备超纯水的设备。这不仅是一种制备超纯水的新技术,也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。

  超纯水设备可连续稳定生产优质超纯水,不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计紧凑,占地面积小,可为企业节省大量空间。与传统方法相比,超纯水设备具有许多优点,可以连续稳定地制备高质量的超纯水。

  芯片的生产制造离不开超纯水,超纯水的生产自然也离不开超纯水设备。莱特莱德采用独有的靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除同时还能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。在晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等领域多有应用。


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